一种基于MEMS技术的轻小型爆炸物探测器研究

• 作者: 倪林 孔德义 张东风 张正勇 张涛 梅涛 路巍 陶永春
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 爆炸物探测 梯恩梯(TNT) 黑索金
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳传感器与执行器
• 页码范围: 163-165
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1605字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.055

摘要

提出了一种基于MEMS技术的爆炸物探测器的检测原理及其制作方法,并研制出该探测器样机.对两种常见固态爆炸物梯恩梯(TNT)和黑索金的探测实验表明,它能够检测出微克量级的爆炸物微粒,检测极限约为1μg.该探测器较适用于对大宗可疑物品进行微克至毫克量级采样后的快速检测.