串联RF MEMS开关的结构仿真

• 作者: 候德胜 张万里 彭斌 蒋洪川 谌贵辉 赵泽宇
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微波开关 结构仿真
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 光电系统与技术
• 页码范围: 92-95
• 页数: 4页
• 分类号: TN63
• 字数: 2505字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2005.09.024

摘要

RF微机电系统(MEMS)开关"断"状态时的隔离度依赖于其几何结构参数,因而需对其尺寸进行优化设计以获得高的隔离度.利用有限元软件HFSS对串联RF MEMS开关模型进行微波特性分析,系统研究了"断"状态下,MEMS开关的隔离度、回波损耗与其信号线宽度(w)、信号线间距(d)、气隙高度(g)、接触层面积(A)等结构参数的关系.结果表明,较小的w、较大的d、较高的g和较小的A可获得具有较小回波损耗和较大隔离度的MEMS开关.其中信号线间距对微波性能影响最大,是RF MEMS开关结构设计考虑的主要因素.设计了g=3μm,d=60μm,A=80(100μm 2,w=100μm一个RF MEMS开关,在5GHz时其回波损耗小于0.2dB,隔离度大于35dB.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋洪川	电子科技大学微电子与固体电子学院	74	586	12.0	19.0
2	张万里	电子科技大学微电子与固体电子学院	142	705	13.0	17.0
3	彭斌	电子科技大学微电子与固体电子学院	87	638	12.0	21.0
4	赵泽宇	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	13	47	4.0	6.0