MEMS粗真空传感器研制

• 作者: 李炳乾
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 粗真空 真空传感器
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 前沿技术
• 页码范围: 87-88
• 页数: 2页
• 分类号: TN402|TN405
• 字数: 1659字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2005.01.033

摘要

设计了硅基MEMS粗真空传感器及其工艺流程,分析了 MEMS粗真空传感器的工作原理和过程,制作了MEMS粗真空传感器,并对其真空敏感特性和温度交叉敏感特性进行了实验研究.研究结果表明:采用恒压源供电时,制作的MEMS真空传感器灵敏度高达0.55μV/Pa,同时,具有很好的线性度和重复性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李炳乾	佛山科技学院物理系	7	101	4.0	7.0