射频微机械可变电容的研究与进展

• 作者: 张志国 李丽 杨瑞霞 赵正平 邓海丽
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 射频微机械 可变电容 Q值 调节范围
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 趋势与展望
• 页码范围: 35-39
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 3291字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2005.05.011

摘要

对国内外有关微机械可变电容的研究做了综合阐述,包括改变介质的可变电容、改变重叠面积的可变电容和改变间隔的可变电容.并对其中有代表性的电容结构进行了说明,对其获得的零偏压下的电容量值、Q值以及调节范围进行了比较.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨瑞霞	河北工业大学信息工程学院	180	759	13.0	18.0
2	赵正平	河北工业大学信息工程学院	22	61	5.0	5.0
3	邓海丽		16	55	4.0	6.0
4	李丽	河北工业大学信息工程学院	15	50	5.0	6.0
5	张志国	河北工业大学信息工程学院	11	51	5.0	6.0