离子注入聚醚砜薄膜的介电频谱分析

• 作者: 岳喜成
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 化学
• 关键词: 离子注入 聚醚砜 介电频谱 表面电导率 德拜方程
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 技术专栏(薄膜生长技术)
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: O631.2
• 字数: 3085字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2005.05.008

摘要

离子注入纯聚醚砜(PES)薄膜的介电损耗在0～10MHz内小于0.062,没有松驰特性,这说明用离子注入在纯P E S膜上制作元件和连线时,导电层与绝缘层复合介质在很宽的频率范围内(0～10MHz)没有松弛特性,即连线和连线之间及连线和基底之间没有松弛特性,纯PES是用离子注入法制作布线的理想材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	岳喜成	宝鸡文理学院物理系	12	36	3.0	5.0