BST薄膜的微结构研究

• 作者: 杨传仁 符春林 赵莉 陈宏伟 高志强
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 钛酸锶钡薄膜 射频磁控溅射 微结构 电畴
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 29-31
• 页数: 3页
• 分类号: TN384
• 字数: 1551字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2005.02.010

摘要

采用射频磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了钛酸锶钡(BST)薄膜.利用X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)分别研究了BST薄膜的成分、晶体结构.用优化的成膜工艺制备出成分与靶材基本一致,具有钙钛矿结构的BST多晶薄膜.利用扫描力显微镜中的压电模式(PFM)观察到了BST薄膜中的a畴和c畴,初步确定在BST薄膜中多畴转变为单畴的临界尺寸为28～33 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨传仁	电子科技大学微电子与固体电子学院	69	525	11.0	18.0
2	陈宏伟	电子科技大学微电子与固体电子学院	51	360	10.0	15.0
3	符春林	电子科技大学微电子与固体电子学院	19	239	10.0	15.0
4	赵莉	电子科技大学微电子与固体电子学院	6	54	5.0	6.0
5	高志强	电子科技大学微电子与固体电子学院	6	54	5.0	6.0