白光干涉谱数据处理的新方法

• 作者: 严惠民 张秀达 施柏煊 杜艳丽 聂永军
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 白光干涉术 干涉谱 距离测量 信噪比 数据处理
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 光谱测量
• 页码范围: 93-96
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 2425字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2005.03.025

摘要

提出了一种基于动态均值滤波、二次曲线法解调和拟合法求光程差的数据处理新方法.与传统的算法比较,动态均值滤波避免了耗时的快速傅立叶变换,二次曲线法解调有更好的解调精度,拟合法求光程差可去除噪音较大的数据.新算法有快速、可使用的测量范围大和抗干扰能力强的优点.新方法可适用的白光干涉谱数据距离范围为10(m到100(m.在样品上采集到的白光干涉谱数据的对比度约为0.06、信噪比约为18dB.用新方法和传统方法分别对这些数据进行了处理.新方法处理结果的短期数据方差小于10nm,精度比常用方法好4倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张秀达		3	39	3.0	3.0
2	严惠民		5	45	4.0	5.0
3	杜艳丽		2	29	2.0	2.0
4	聂永军		2	29	2.0	2.0