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电容耦合式微波MEMS开关
电容耦合式微波MEMS开关
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
电容耦合式
微波微机械开关
五氧化二钽薄膜
摘要:
提出了一种插入损耗较低、介质薄膜生长在桥膜上的新结构微波MEMS开关.该开关桥膜由介质/金属/硅三种薄膜构成,并采用键合和自停止腐蚀工艺成功制备.详细论述该开关的原理、设计和制备过程.磁控溅射制备出介电常数为24的Ta2O5作为介质薄膜,利用光刻剥离技术使该介质薄膜图形化.实验结果显示,这种介质薄膜在桥膜上的新结构开关的插入损耗较低,在传输线金属薄膜厚度仅为0.5μm的情况下,频率为2GHz时插入损耗仅为0.06dB,在直流到20GHz的频率范围内插入损耗均低于0.5dB.
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文献信息
篇名
电容耦合式微波MEMS开关
来源期刊
半导体学报
学科
工学
关键词
电容耦合式
微波微机械开关
五氧化二钽薄膜
年,卷(期)
2005,(9)
所属期刊栏目
研究论文
研究方向
页码范围
1727-1730
页数
4页
分类号
TN405
字数
556字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:0253-4177.2005.09.009
五维指标
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
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共引文献
(0)
参考文献
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(0)
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(0)
2005(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
电容耦合式
微波微机械开关
五氧化二钽薄膜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体学报(英文版)
主办单位:
中国电子学会和中国科学院半导体研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1674-4926
CN:
11-5781/TN
开本:
大16开
出版地:
北京912信箱
邮发代号:
2-184
创刊时间:
1980
语种:
eng
出版文献量(篇)
6983
总下载数(次)
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总被引数(次)
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