键合丝微拉机的电控系统设计方法

• 作者: 张青明 杨明秦 白修库
• 来源期刊: 电工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微拉机 恒线速控制 排线控制 电控系统
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: 传动控制技术
• 页码范围: 25-27
• 页数: 3页
• 分类号: TH13
• 字数: 2163字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1388.2005.10.013

摘要

介绍了用于拉伸集成电路用Si-Al键合丝的微细丝拉丝机的电控系统,收卷的恒线速控制及排线控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张青明		2	0	0.0	0.0
2	杨明秦		3	1	1.0	1.0
3	白修库		4	2	1.0	1.0