蓝宝石衬底分步清洗及其对后续氮化的影响

• 作者: 徐茵 曲钢 秦福文 郎佳红 顾彪
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 蓝宝石 清洗 氮化 RHEED GaN
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 支撑技术
• 页码范围: 57-60
• 页数: 4页
• 分类号: TN305|TN386
• 字数: 3380字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2005.01.018

摘要

通过反射高能电子衍射仪(RHEED)分析蓝宝石衬底在经过双热电偶校温的ECR-PEMOCVD装置中清洗氮化实验表面晶质的RHEED图像,研究了常规清洗和ECR等离子体所产生的活性氢氮等离子体源对蓝宝石衬底清洗、氮化的实验.结果表明,经常规清洗后的蓝宝石衬底表面晶质差异较大,有些衬底再经通常的30min等离子体清洗是达不到要求的,而要根据情况施行分步清洗才能清洗充分,清洗充分的衬底经20min就可氮化出来,不充分的再长的时间也很难氮化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦福文	大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室	40	235	8.0	14.0
2	顾彪	大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室	41	363	12.0	18.0
3	徐茵	大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室	26	207	8.0	13.0
4	郎佳红	大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室	5	56	4.0	5.0
8	曲钢	大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室	2	6	2.0	2.0