不同衬底上Pb(Zr0.52Ti0.48)O3择优取向铁电薄膜的制备和研究

• 作者: 姚熹 李建康
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: LaNiO3薄膜 PZT铁电薄膜 择优取向 剩余极化强度
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 2938-2944
• 页数: 7页
• 分类号: O4
• 字数: 5025字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.06.085

摘要

通过MOD法在Si(100)和Pt(111)/Ti/SiO2/Si基片上制备出LaNiO3 (LNO)薄膜.再通过修正的Sol-gel法,在Pt(111)/Ti/SiO2/Si,LNO/Si(100)和LNO/Pt/Ti/SiO2/Si三种衬底上制备出具有择优取向的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3铁电薄膜.经XRD分析表明,LNO薄膜具有(100)择优取向的类钙钛矿结构;PZT薄膜均具有钙钛矿结构,且在Pt(111)/Ti/SiO2/Si衬底上的薄膜以(110)择优取向,在LNO/Pt/Ti/SiO2/Si和LNO/Si(100)衬底上的薄膜以(100)择优取向.经场发射SEM分析和介电、铁电性能测试表明,在LNO/Si和LNO/Pt/Ti/SiO2/Si衬底上的PZT薄膜的平均粒径、介电常数以及剩余极化强度均比以Pt/Ti/SiO2/Si为衬底的薄膜大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚熹	西安交通大学电子材料研究所	172	1611	18.0	30.0
2	李建康	苏州科技学院电子与信息工程系	21	63	6.0	7.0