大台阶高度测量的外差共焦方法

• 作者: 张蕊 徐毅 林德教 柳忠尧 殷纯永 许婕 闫聚群
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量与计量 共焦显微术 外差干涉 相位测量 台阶
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 389-393
• 页数: 5页
• 分类号: TB92|TN247
• 字数: 2814字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2005.03.021

摘要

台阶高度是微电子产品的一个重要性能参数.基于双频激光干涉共焦显微系统(DICM)提出了一种微电子掩膜板台阶高度测量的扫描方法,在共焦显微扫描样品表面,当光强达到最大值时,将采样外差干涉的相位作为精确对准的判据.该扫描方法集中融合了外差干涉测量和共焦显微测量的优点,同时实现了高分辨率与较大量程的测量,该系统测量台阶高度的范围取决于Z向位移扫描仪PI-Foc的扫描范围,可达数十甚至近百微米.实验结果表明该系统在普通恒温的实验条件下1 h内的漂移不超过5 nm,该系统已经用于20 μm高台阶的测量,对准分辨率为0.1 nm,实验结果与台阶高度实际值有很好的一致性.