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摘要:
研究了在Si(100)衬底上淀积低k薄膜的分层结构中表面波沿Si[100]和[110]晶向传播的速度-频率色散特性,给出了表面波色散特性的理论推导,得到了低k薄膜的杨氏模量、密度、厚度和泊松常数对色散关系的影响.
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内容分析
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文献信息
篇名 表征ULSI低介电常数互连材料机械特性的表面波频散特性
来源期刊 半导体学报 学科 工学
关键词 低介电常数介质 表面波 频散特性 杨氏模量
年,卷(期) 2005,(10) 所属期刊栏目 研究论文
研究方向 页码范围 2032-2037
页数 6页 分类号 TN405.97
字数 4005字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.10.031
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 姚素英 天津大学电子信息工程学院 160 911 14.0 21.0
2 李志国 天津大学电子信息工程学院 66 648 9.0 23.0
3 肖夏 天津大学电子信息工程学院 26 91 6.0 7.0
4 张鑫慧 天津大学电子信息工程学院 2 10 1.0 2.0
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研究主题发展历程
节点文献
低介电常数介质
表面波
频散特性
杨氏模量
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体学报(英文版)
月刊
1674-4926
11-5781/TN
大16开
北京912信箱
2-184
1980
eng
出版文献量(篇)
6983
总下载数(次)
8
总被引数(次)
35317
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
教育部留学回国人员科研启动基金
英文译名:the Scientific Research Foundation for the Returned Overseas Chinese Scholars, State Education Ministry
官方网址:http://www.csc.edu.cn/gb/
项目类型:
学科类型:
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