基于薄膜工艺的乙醇气体气敏膜的研究

• 作者: 史铁林 李晓平 王聪
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 乙醇 气敏膜 电子枪
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 10-12
• 页数: 3页
• 分类号: TM93
• 字数: 2552字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2005.05.004

摘要

ZnO2,SnO2, Fe2O3等基底材料可以用来制作半导体型乙醇气体传感器中的气敏膜.在基底中掺杂Pt,TiO2等物质可以获得很高的气体检测灵敏度和很好的选择性.利用电子枪蒸发薄膜工艺来制作乙醇气体敏感膜,可以取得很好的效果.与通常使用的厚膜工艺相比,薄膜工艺与MEMS工艺兼容,更适合制作微小器件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	史铁林	华中科技大学机械科学与工程学院	192	2245	25.0	38.0
2	王聪	华中科技大学机械科学与工程学院	23	256	6.0	16.0
3	李晓平	华中科技大学机械科学与工程学院	10	33	3.0	5.0