激光技术的一种特殊应用--镀类金刚石膜的探讨

• 作者: 孙秀泉 胡居广
• 来源期刊: 物理通报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 类金刚石膜
• 年，卷（期）: 2005,（10）
• 所属期刊栏目: 知识介绍
• 页码范围: 56-57
• 页数: 2页
• 分类号: TN2
• 字数: 1686字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0509-4038.2005.10.024

摘要

讨论了类金刚石膜的特性及应用,介绍了激光镀膜系统的结构原理.探讨了激光镀类金刚石膜的特点及金刚石膜生成工艺中的关键问题及解决途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙秀泉	深圳大学工程技术学院	19	98	6.0	9.0
2	胡居广	深圳大学师范学院物理系	20	82	5.0	8.0