准分子激光电化学刻蚀镍的特性研究

• 作者: 史铁林 周月豪 柳海鹏 熊良才
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 准分子激光 电化学 阳极钝化 刻蚀 镍
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 光学工艺
• 页码范围: 323-325,329
• 页数: 4页
• 分类号: TG665
• 字数: 3282字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2005.03.001

摘要

提出一种新的准分子激光电化学加工工艺,在阳极钝化区内,通过准分子激光照射,以实现无屏蔽的各向异性的微加工.对该工艺进行了可行性分析,并对其进行了初步试验,证实在钝化区,准分子激光导致刻蚀电流增加的幅度比较明显,在此基础上,深入研究了在准分子脉冲激光作用过程中,刻蚀电流与脉冲数、脉冲频率之间的关系.表明准分子激光在钝化区具有增强电化学特性的能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	史铁林	华中科技大学机械与工程学院	192	2245	25.0	38.0
2	熊良才	华中科技大学机械与工程学院	28	380	11.0	18.0
3	柳海鹏	华中科技大学机械与工程学院	8	53	5.0	7.0
4	周月豪	华中科技大学机械与工程学院	5	43	4.0	5.0