高质量金刚石自支撑膜织构与断裂强度的关系研究

• 作者: 吕反修 左铁钏 杨胶溪 毛卫民
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 自支撑 织构 断裂强度
• 年，卷（期）: 2005,（6）
• 所属期刊栏目: 表面改性技术
• 页码范围: 2-5
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444|TB43|O484
• 字数: 2206字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6051.2005.06.002

摘要

利用直流电弧等离子体喷射化学气相沉积在Mo基体上制备了不同织构的金刚石厚膜.用扫描电境(SEM)观察金刚石膜的形貌,用XRD表征晶体取向,用极图和取向分布函数法计算金刚石膜的不同织构,利用三点弯曲法测量金刚石膜的断裂强度.结果表明,金刚石膜的断裂强度随着衍射峰强度比值I(111)/I(220)的增大而不断降低.{110}织构的金刚石膜具有最高的断裂强度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛卫民	北京科技大学材料科学与工程学院	351	4505	35.0	51.0
2	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
3	左铁钏	北京工业大学激光工程研究院	155	2041	26.0	36.0
4	杨胶溪	北京工业大学激光工程研究院	34	320	11.0	17.0