金属线宽及线间距渐变的射频螺旋电感

• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 射频螺旋电感 品质因子 涡流效应 金属损耗
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 1716-1721
• 页数: 6页
• 分类号: TN34
• 字数: 860字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.09.007

摘要

为减少射频螺旋电感的金属导体损耗,提出了一种电感金属线宽及金属间距从外到内逐渐变小的新颖结构.与传统的固定金属线宽和间距的电感相比,该渐变结构电感涡流效应的影响较小,金属导体损耗减小,从而降低其串联电阻,品质因子Q值提高.实验结果确证了所提方法的正确性.对一个高阻硅衬底上6nH电感,优化设计的渐变结构电感Q值在2.46GHz处可达到14.25,比版图面积相同、固定线宽及间距的传统电感高11.3%.因此,在无线通信系统的射频前端,采用这种电感与射频集成电路结合,能获得更好的射频电路性能.