纳米级电容测微系统的研究

• 作者: 于永新 周涛 郑义忠
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米 电容测微仪 非接触测量
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 15-18
• 页数: 4页
• 分类号: TM5|TP3
• 字数: 2625字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2005.11.005

摘要

本文首先介绍了非接触式高精度电容测微仪的基本工作原理,进而详细论述了纳米级电容测微技术中所涉及到的非线性误差、环境噪声等关键技术问题,对典型驱动电缆方案作了比较.根据原理模型,给出了仪器的主要结构.对仪器自身产生的各种误差进行了详细的分析,并提出了相应的消除或修正方法.换用不同有效直径的传感器可以使仪器分辨力达到0.1m,测量范围±2～±50脚,满量程非线性优于0.5%.该仪器可广泛应用于通过串口、USB口通信的高精度动、静态微位移测量及纳米定位.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周涛	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	12	146	7.0	12.0
2	郑义忠	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	60	769	17.0	25.0
3	于永新	天津大学电子信息工程学院	10	60	4.0	7.0