SOI光波导和集成波导光开关矩阵

• 作者: 余金中 刘敬伟 夏金松 樊中朝 王章涛 陈少武
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光波导 SOI材料 单模条件 光开关/光开关矩阵
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 页码范围: 212-215
• 页数: 4页
• 分类号: TN256
• 字数: 1663字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.z1.055

摘要

报道了基于SOI(silicon-on-insulator)材料的光波导和集成波导光开关矩阵的最新研究进展.给出了截面为梯形的脊波导的单模条件,设计制备了MMI(multimode interference)集成耦合器和基于Mach-Zehnder光波导干涉仪的热光型2×2光开关,开关转换速度达到了5～8μs,驱动功耗仅为140mW,是当前国际上同类型光开关中转换速度最快的.在此基础上制备成功了4×4波导光开关矩阵,并实现了光信号在不同信道间的转换.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余金中	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	110	703	13.0	21.0
2	樊中朝	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	13	220	8.0	13.0
3	陈少武	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	39	387	9.0	19.0
4	夏金松	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	12	71	5.0	8.0
5	王章涛	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	5	25	3.0	5.0
6	刘敬伟	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	12	21	3.0	3.0