悬臂梁式微机械隧道陀螺的结构设计与性能分析

• 作者: 孙道恒 李文望
• 来源期刊: 传感器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 隧道陀螺仪 电子隧道效应 耦合场分析
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 48-50
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1625字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2005.02.018

摘要

介绍了电子隧道效应在微机械陀螺仪中的应用,根据电子隧道效应的特点与要求提出了隧道陀螺仪的结构方案,利用ANSYS进行系统模态分析、静电-结构的耦合场分析及系统的性能分析.讨论了系统的机械灵敏度及隧道电流与隧道电极间隙的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李文望	厦门理工学院机械系	21	92	6.0	9.0
2	孙道恒	厦门大学机电工程系	81	618	14.0	21.0