一种高分辨力电镜放大倍率的校准方法

• 作者: 刘剑霜 盛克平 胡刚 谢锋 陈一
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 生物学
• 关键词: 透射电子显微镜 放大倍率 校准
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 27-29
• 页数: 3页
• 分类号: Q-3
• 字数: 2537字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2005.11.009

摘要

针对集成电路制造中TEM检测分析的高正确度要求,本文介绍了一种高分辨力电子显微镜放大倍率的校准方法.该方法简单、方便,能够有效地减少系统误差,结果可靠,适用范围广.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘剑霜	扬州大学物理科学与技术学院	8	19	1.0	4.0
3	谢锋	复旦大学国家微分析中心	20	230	7.0	15.0
4	盛克平		5	24	3.0	4.0
5	胡刚	复旦大学国家微分析中心	6	137	2.0	6.0
6	陈一	复旦大学国家微分析中心	41	357	9.0	17.0