集束型半导体制造设备的预防维修计划优化

• 作者: 厉红 钱省三
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 集束型设备 预防维修计划 优化 遗传算法
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 制造技术
• 页码范围: 39-42
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 3778字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2005.11.010

摘要

研究了生产200mm以上晶圆的半导体制造企业中的主要设备--集束型设备(cluster tools)的预防维修计划优化问题.基于半导体集成电路生产线的复杂性及集束型设备的特点,建立了基于系统观的集束型设备预防维修计划实时优化模型,设计了用遗传算法求解模型的方法,最后以一个实例及运行结果说明了研究的实用性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钱省三	上海理工大学管理学院	182	2387	26.0	41.0
2	厉红	浙江理工大学机械与自动控制学院	1	15	1.0	1.0