多层膜[Co85 Cr15/Pt]20的磁性、垂直磁记录特性和微结构的关系

• 作者: 朱逢吾 李宝河 杨涛 翟中海 黄阀
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 溅射气压 多层膜 垂直磁各向异性 有效磁各向异性常数
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 1841-1846
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 3540字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2005.04.067

摘要

采用磁控溅射法制备了性能优良的以Pt为缓冲层的[Co85 Cr15/Pt]20多层膜,研究了溅射气压对[Co83Cr15/Pt]20多层膜微结构和磁性的影响.研究结果表明,Ar溅射气压对[Co85 Cr15/Pt]20多层膜的微结构、垂直磁各向异性和矫顽力有重要的影响.所有样品的有效各向异性常数K()ff＞0,具有垂直磁各向异性.随着Ar气压增加,样品垂直膜面的矫顽力增加,但样品有效磁各向异性常数减小.在1.6 Pa Ar溅射的Pt(20nm)/[(Co85Cr15(0.5 nm)/Pt(1.5 nm)]20多层膜,矫顽力达到130 kA/m,具有垂直各向异性,可作为垂直磁记录介质.原子力显微镜照片显示,随着Ar气压增加,表面平均晶粒尺寸和粗糙度均增加.这是导致多层膜的垂直矫顽力增加和有效磁各向异性常数减小的原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李宝河	北京科技大学材料物理与化学系	43	158	6.0	9.0
3	朱逢吾	北京科技大学材料物理与化学系	54	229	8.0	12.0
4	黄阀	北京科技大学材料物理与化学系	7	19	3.0	4.0
10	杨涛	北京科技大学材料物理与化学系	19	65	5.0	7.0
11	翟中海	北京科技大学材料物理与化学系	9	23	3.0	4.0