CdZnTe材料的表面钝化新工艺

• 作者: 夏军 张奇 桑文斌 王昆黍 腾建勇 钱永彪 闵嘉华
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: CdZnTe晶体 表面钝化 漏电流
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1475-1479
• 页数: 5页
• 分类号: TL814
• 字数: 2392字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.07.036

摘要

研究了一种新的钝化CdZnTe(CZT)器件表面的工艺,即先采用KOH-KCl溶液对CZT表面进行处理,再用NH4F/H2O2溶液对其进行表面氧化的二步法钝化工艺.并借助俄歇电子能谱(AES)、微电流测试仪等手段对其表面钝化层的质量进行了鉴别,同时与KOH-KCl和NH4F/H2O2两种工艺进行了比较.AES能谱分析表明,采用二步法工艺钝化,既可获得化学计量比较好的CZT表面,又可在表面形成一层起保护作用的氧化层.I-Ⅴ特性曲线显示,两步法钝化后CZT器件的漏电流与KOH-KCl和NH4F/H2O2钝化相比都有一定程度的下降.说明文中提出的新工艺在CZT器件制备方面具有良好的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	桑文斌	上海大学材料科学与工程学院	53	535	15.0	20.0
2	闵嘉华	上海大学材料科学与工程学院	54	281	10.0	15.0
3	钱永彪	上海大学材料科学与工程学院	14	108	6.0	10.0
4	张奇	上海大学材料科学与工程学院	6	79	6.0	6.0
5	王昆黍	上海大学材料科学与工程学院	5	54	4.0	5.0
6	腾建勇	上海大学材料科学与工程学院	1	7	1.0	1.0
7	夏军	上海大学材料科学与工程学院	1	7	1.0	1.0