CMOS工艺兼容的温湿度传感器

• 作者: 张中平 彭韶华 秦明 黄庆安
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 温湿度传感器 聚酰亚胺 电容型
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1428-1433
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 3610字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.07.027

摘要

设计并制备了一个CMOS工艺兼容的温湿度传感器,讨论了感湿理论模型并用COVENTOR软件进行了模拟,给出了具体的结构参数及工艺制作步骤,最后对温湿度传感器进行了测量,对理论值和实际测量值做了比较并给出了分析结果.结果表明,传感器在25℃时的灵敏度为0.015pF/%RH,从15%RH～95%RH,电容实际变化量为1.23pF.