一种K波段双桥电容式RF MEMS开关的设计与制作

• 作者: 刘泽文 刘理天 宣云 李志坚 雷啸锋 韦嘉
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: RF MEMS 开关 双桥结构 高隔离度
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1442-1447
• 页数: 6页
• 分类号: TN304
• 字数: 2946字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.07.030

摘要

介绍了一种K波段双桥结构的电容式RF MEMS开关.该开关的结构特点是,以共面波导上的悬空金属膜为双桥结构,并且膜桥的支撑呈折叠弹簧结构.使用Agilent ADS软件对该开关进行了设计和优化,结果表明,相比传统电容式单桥开关,该开关隔离度性能得到了很大提高.利用表面微机械工艺,在高阻硅衬底上制备了开关样品.双桥开关的在片测试结果表明:驱动电压为19.5V,"开"态的插入损耗约1.6dB@19.6GHz,"关"态的隔离度约46.0dB@19.6GHz.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	刘泽文	清华大学微电子学研究所	50	169	7.0	10.0
3	李志坚	清华大学微电子学研究所	84	451	11.0	15.0
4	雷啸锋	清华大学微电子学研究所	6	17	3.0	4.0
5	宣云	清华大学微电子学研究所	5	16	3.0	4.0
6	韦嘉	清华大学微电子学研究所	6	16	3.0	3.0