DLC薄膜的表面形貌及其摩擦学性能研究

• 作者: 严新平 李健 白秀琴
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: DLC薄膜 真空蒸发离子束辅助镀膜 表面形貌 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 19-21
• 页数: 3页
• 分类号: TG174
• 字数: 2249字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2005.04.007

摘要

以真空蒸发碳离子束辅助镀膜法制备了DLC薄膜,通过原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)观察了该薄膜的表面形貌,对该薄膜的表面形貌对其摩擦学行为的影响进行了研究.研究发现:用真空蒸发碳离子束辅助镀膜的方法制备的类金刚石薄膜表面光滑,颗粒均匀,粒度小,摩擦因数降低;DLC薄膜比弹簧钢片及Ti6Al4V球基体耐磨;DLC薄膜的摩擦学性能在摩擦过程中会进一步改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	白秀琴	武汉理工大学可靠性工程研究所	5	124	4.0	5.0
5	李健		92	1105	21.0	28.0
6	严新平	武汉理工大学可靠性工程研究所	355	4642	31.0	45.0