钛离子注入类金刚石碳膜的结构与性能的研究

• 作者: 李国卿 柳翠 牟宗信 苟伟
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 无机非金属材料 类金刚石碳膜 金属离子注入 钛掺杂
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 301-303
• 页数: 3页
• 分类号: TB332|O484
• 字数: 2091字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2005.02.044

摘要

使用金属离子注入的方法制备了Ti掺杂的DLC膜.采用原子力显微镜观察了薄膜的表面形貌,Ti掺杂后DLC膜的表面粗糙度明显减小,表面光洁度增加,颗粒细化.拉曼光谱分析表明实验获得的薄膜是典型的DLC膜,掺杂Ti后的DLC膜的拉曼光谱存在明显的肩峰,DLC膜化学结构中的sp2组分增加,sp3组分减少.透射电子显微镜分析表明Ti注入后有TiC纳米晶形成.掺入Ti的DLC膜的硬度从14GPa增加到20GPa.Ti掺杂后的DLC膜的摩擦系数(0.15)明显低于未掺杂的DLC膜的摩擦系数(0.21),Ti离子注入有助于提高薄膜的抗磨损性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李国卿	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	58	411	12.0	16.0
2	牟宗信	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	38	217	10.0	12.0
3	柳翠	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	8	93	5.0	8.0
4	苟伟	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	9	101	6.0	9.0