玻璃基板上激光微细熔覆直写电阻技术的研究

• 作者: 曾晓雁 李慧玲 李祥友
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 激光微细熔覆 柔性直写 电阻
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 281-286
• 页数: 6页
• 分类号: TN605
• 字数: 3441字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2005.02.035

摘要

介绍了玻璃基板上激光微细熔覆柔性直写电阻的基本原理及其工艺,系统地研究了各工艺参数的变化对电阻阻值的影响规律.通过热作用、激光与物质的相互作用原理理论分析了电阻膜的形成以及组织、结构、性能间的关系,确立了制备电阻的最佳工艺参数和获得高精度、小误差电阻阻值测试的最佳方法.结果表明,采用该技术可以在无掩膜下通过调节电阻的形状、大小、体积以及激光加工参数,一步完成所需高精度、高质量、高性能电阻元件的制备和修复,不需要电阻的微调,工艺简单、灵活、速度快、成本低,具有广阔的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李祥友	华中科技大学激光技术国家重点实验室	25	357	11.0	18.0
2	曾晓雁	华中科技大学激光技术国家重点实验室	144	2006	25.0	36.0
3	李慧玲	华中科技大学激光技术国家重点实验室	7	58	5.0	7.0