氩氧气氛下沉积的CdTe薄膜及太阳电池的性质

• 作者: 冯良桓 张静全 李卫 武莉莉 蔡亚平 蔡伟 蔡道林 郑家贵 黎兵
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: CdTe 太阳电池 近空间升华 薄膜
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 716-720
• 页数: 5页
• 分类号: O472+.4
• 字数: 3386字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.04.016

摘要

研究了在氩氧气氛下近空间升华沉积CdTe的技术.发展了在表面十分平整的玻璃衬底上沉积优质CdTe薄膜的方法,对比了在玻璃衬底和CdS薄膜上CdTe薄膜的结构特征.通过研究氧分压对CdTe薄膜择优取向的影响,证实了在恰当的近空间升华沉积过程中,两种衬底上的CdTe薄膜具有相同的结构.研究了玻璃衬底上CdTe薄膜的电学与光学性质,观察了后处理对上述薄膜性质的影响,并研制出了效率达13.38%的小面积CdTe薄膜太阳电池.