硅基COZrO铁氧体磁膜结构RF集成微电感

• 作者: 于军 任天令 冯海刚 刘理天 刘锋 杨晨 王自惠 龙海波
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: CoZrO铁氧体 磁膜结构 射频集成
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 2208-2212
• 页数: 5页
• 分类号: TN409
• 字数: 3324字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.11.030

摘要

制作了一种新型磁膜结构射频集成微电感.该电感使用溶胶-凝胶法制备的CoZrO铁氧体作为磁性薄膜;采用平面单匝形式的金属线圈,从而形成"SiO2绝缘层/磁膜层(CoZrO)/SiO2绝缘层/Cu线圈"的结构,具有结构简单、制作工艺与常规集成工艺兼容等特点.同时,采用相同工艺同批制作了无磁膜微电感作为对比样品,并取各项结构参数与磁膜电感相一致.测试结果表明,2GHz处,磁膜结构微电感的感值(L)为1.75nH、品质因数(Q)为18.5,与无磁膜微电感相比,L和Q的值分别提高了25%和23%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	任天令	清华大学微电子学研究所	87	600	13.0	19.0
3	刘锋	华中科技大学电子科学与技术系	10	60	5.0	7.0
4	杨晨	清华大学微电子学研究所	13	74	5.0	8.0
5	龙海波	清华大学电子工程系	2	7	2.0	2.0