低功率消耗SOI基热光可变光学衰减器

• 作者: 刘育梁 方青 李芳 贺月娇 辛红丽 陈鹏
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 可变光学衰减器 热光 隔热槽 功率消耗
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 页码范围: 204-207
• 页数: 4页
• 分类号: TN252
• 字数: 2292字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.z1.053

摘要

制作了带有U形隔热槽的马赫-曾德干涉型SOI热光可变光学衰减器,在1510～1610nm波长范围内动态调节范围可达到0～29dB.与未加隔热槽的相同结构光学衰减器相比,器件插入损耗和调制深度不受影响,最大功率消耗降低了230mW.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李芳	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	156	1240	17.0	28.0
2	刘育梁	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	44	362	13.0	16.0
3	陈鹏	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	73	581	12.0	22.0
4	方青	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	8	14	3.0	3.0
5	贺月娇	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	4	13	2.0	3.0
6	辛红丽	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	5	25	3.0	5.0