多晶铜微小试样的ISDG试验

• 作者: 徐武军 徐绯 李玉龙 汤忠斌
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 力学性能 ISDG 薄膜 拉伸 有限元
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 页码范围: 551-554
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 2735字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2005.05.013

摘要

介绍了新近研制的用于测量微电子机械系统(Microelectronic Mechanical System,MEMS)材料机械性能的单轴拉伸试验系统.拉伸试样的厚度只有200μm,试验段宽度为300μm,用有限元法模拟拉伸试验时试样的应力分布,分析试样几何形状参数对应力分布的影响并优化设计了试样,采用激光干涉应变计法测量试样应变,得到多晶铜试样的应力-应变曲线.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐绯	西北工业大学航空学院	78	542	12.0	19.0
2	李玉龙	西北工业大学航空学院	178	1835	22.0	33.0
4	汤忠斌	西北工业大学航空学院	21	157	7.0	12.0
5	徐武军		1	8	1.0	1.0