硅基二氧化硅阵列波导光栅相位误差数值分析

• 作者: 夏君旨 安俊明 李健 李建光 王红杰 胡雄伟 郜定山
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 阵列波导光栅 串扰 相位误差 数值分析
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 页码范围: 220-224
• 页数: 5页
• 分类号: TN929.11
• 字数: 2664字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.z1.057

摘要

采用传输函数法对硅基二氧化硅阵列波导光栅(AWG)的相位系统误差和随机误差进行了详细的分析.系统误差的模拟结果表明阵列波导的有效折射率和相邻阵列波导长度差ΔL的偏移将会对使中心波长λ0偏离设计值,平板波导有效折射率、阵列波导的间距、罗兰圆聚焦长度R的偏移会使通道间隔偏离设计值.随机误差的模拟结果表明相邻阵列波导长度差、阵列波导中芯区折射率、芯区宽度、芯区厚度的随机波动对AWG的串扰影响较大,而波导上、下包层折射率的波动对AWG串扰影响较小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	安俊明	内蒙古大学物理系	45	77	5.0	6.0
3	李建光	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	22	67	5.0	6.0
4	王红杰	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	32	93	6.0	7.0
5	胡雄伟		41	134	6.0	9.0
6	李健	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	92	1070	17.0	31.0
7	郜定山	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	13	42	4.0	6.0
8	夏君旨		13	52	4.0	7.0