MOEMS光开关动力学过程分析

• 作者: 刘彩霞 孙东明 徐宝琨 王国东 董玮 郭文滨 陈维友
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: MOEMS 动力学分析 角速度 倾斜下电极
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1448-1453
• 页数: 6页
• 分类号: TN2
• 字数: 3322字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.07.031

摘要

采用静电力驱动方式的MOEMS光开关,从运动机制上来说,是由静电力矩、恢复力矩、空气压膜阻尼力矩以及重力力矩等条件共同作用的结果.对于微驱动器驱动条件的研究,不能单纯地从力矩平衡的角度来分析,应从动力学出发,才能较好地描述其运动过程,得到精确的驱动条件分析结果.本文从MOEMS倾斜下电极扭臂式光开关出发,介绍了动力学分析方法的过程.通过数值求解方程,得到器件的可动部分的运动速度等方面的结果,将其在不同驱动条件下的运动状态描述出来,从而达到确定光开关静电驱动条件的目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐宝琨	吉林大学集成光电子学国家重点实验室	37	616	8.0	24.0
2	刘彩霞	吉林大学集成光电子学国家重点实验室	33	129	6.0	9.0
3	董玮	吉林大学集成光电子学国家重点实验室	24	129	6.0	11.0
4	郭文滨	吉林大学集成光电子学国家重点实验室	18	38	3.0	5.0
5	王国东	吉林大学集成光电子学国家重点实验室	6	27	3.0	5.0
6	孙东明	吉林大学集成光电子学国家重点实验室	7	30	3.0	5.0
7	陈维友	吉林大学集成光电子学国家重点实验室	24	82	5.0	8.0