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扫描型哈特曼检测装置研究
扫描型哈特曼检测装置研究
作者:
任冰强
刘丹
王向朝
赵永凯
闫岩
黄惠杰
黄立华
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
光学检测
哈特曼检验法
扫描式哈特曼光阑
非球面准直物镜
球差
波像差
能量集中度
摘要:
在传统哈特曼检验法基础上研制成功一种扫描型哈特曼检测新装置,可对最大口径为φ300 mm的聚焦镜在全口径范围内进行采样测量.该检测装置由大口径标准平行光管、扫描式哈特曼光阑、被检聚焦镜、CCD摄像机及计算机组成,在水平和垂直两个径向上开有等间距排列且相互错开半个间距的小孔,并且在步进电机的驱动下绕光轴旋转,可对被检聚焦镜进行全口径连续采样.对有效口径为φ154 mm的斐索平面干涉仪非球面准直物镜的球差及焦斑能量集中度进行了测量,进而由球差计算得到了波像差,并用干涉法对该准直物镜进行了测量.球差的理论值与测量值最大偏差为14.6%;由新装置测量并计算得到的波像差PV值与干涉法测量并计算得到的PV值偏差为11.5%;实测的80%的能量集中在φ34 μm的范围内,而计算得到的80%的能量集中在φ28 μm之内,最后对结果进行了分析并提出了进一步改进的意见.
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篇名
扫描型哈特曼检测装置研究
来源期刊
强激光与粒子束
学科
工学
关键词
光学检测
哈特曼检验法
扫描式哈特曼光阑
非球面准直物镜
球差
波像差
能量集中度
年,卷(期)
2005,(9)
所属期刊栏目
ICF与激光等离子体
研究方向
页码范围
1377-1381
页数
5页
分类号
TN247
字数
2386字
语种
中文
DOI
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研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
强激光与粒子束
主办单位:
中国工程物理研究院
中国核学会
四川核学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1001-4322
CN:
51-1311/O4
开本:
大16开
出版地:
四川绵阳919-805信箱
邮发代号:
62-76
创刊时间:
1989
语种:
chi
出版文献量(篇)
9833
总下载数(次)
7
总被引数(次)
61664
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