一种低流速气体流量传感器的研制

• 作者: 严晓浪 吴晓波 赵梦恋
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 低速流体 流量传感器 集成电路 温度传感器
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 自动化技术、计算机技术
• 页码范围: 180-184
• 页数: 5页
• 分类号: TN431.1
• 字数: 4111字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2005.02.003

摘要

提出一种基于温差测量原理测量低流速气体流量的方法并进行了实验验证.传感器由一对集成温度传感器芯片与片状铂电阻热源构成,专门设计的片上恒流供电电路保证了热源加热功率的稳定.对该流量传感器样品进行测试,结果表明它能够提供与方根流速近似成线性关系的输出.在低于0.5 cm/s的低流速下,该传感器具有数十至数百毫伏的输出信号幅度,其测量下限可低至0.5 cm/s.这与理论分析结果基本相符.该流量传感器在低流速条件下具有高灵敏度和较高的稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴晓波	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	328	6672	45.0	70.0
2	严晓浪	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	246	1634	19.0	29.0
3	赵梦恋	浙江大学超大规模集成电路设计研究所	34	242	10.0	14.0