CMOS电路与大量程流量计的单片集成

• 作者: 张大成 王小保 赵涛
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 压阻器件 流量计 集成化 工艺
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳加工与测试及封装技术
• 页码范围: 473-475
• 页数: 3页
• 分类号: TN402
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.171

摘要

在CMOS标准工艺和压阻器件经典工艺的基础上,通过两者合理的工艺组合,将以大量程流量计为代表的压阻器件与相关的调理电路集成在一个硅片上.测试结果表明,在集成工艺流程下,CMOS的单管特性和放大电路的闭环特性均正常工作.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张大成		43	793	13.0	27.0
2	王小保		4	25	2.0	4.0
3	赵涛		2	3	1.0	1.0