CMOS器件光学特性的测量

• 作者: 卢永军 宋利民 宋敏 曲艳玲 郑亚茹
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: CMOS 调制传递函数 量子效率
• 年，卷（期）: 2005,（12）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 2407-2410
• 页数: 4页
• 分类号: TN386.5
• 字数: 2165字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.12.026

摘要

介绍了一种测量CMOS像感器调制传递函数(modulation transfer function,MTF)的方法,分别构造了可用于MTF和光谱量子效率测量的实验系统.并利用上述实验系统对1024×1024的CMOS像感器的MTF和量子效率进行了测量,获得了令人满意的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曲艳玲	大连民族学院光电子技术研究所	25	251	6.0	15.0
2	宋敏	大连民族学院光电子技术研究所	24	445	9.0	21.0
3	郑亚茹	辽宁师范大学物理系	30	308	7.0	17.0
4	宋利民	大连海事大学信息工程学院	12	53	4.0	7.0
5	卢永军	大连民族学院光电子技术研究所	3	35	3.0	3.0