双纵模激光拍频干涉仪的研究

• 作者: 周肇飞 尹伯彪 张涛 朱目成
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 仪器 大尺寸测量 双纵模激光 激光拍频干涉仪
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 101-104
• 页数: 4页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 2067字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2005.01.024

摘要

介绍了一种可对大尺寸工件进行无导轨精密测量的系统.以有高稳定性和强抗干扰能力(室外可达10.)的双纵模热稳频He-Ne激光器为光源,其拍频约为790 MHz,拍频波长约376μm;以节点为对准标志,最邻近节点到被测点的间距用组合于同一光路中的分系统激光干涉仪测量,分辨率为0.08 μm.采用自适应滤波和小波运算大幅度地降低了光电信号噪声,并强化波形.测试表明,测量的不确定度优于30 μm/10 m,整个测量系统可在0～20 m范围内工作.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张涛	四川大学激光应用技术研究所	178	773	14.0	19.0
2	周肇飞	四川大学激光应用技术研究所	37	432	12.0	20.0
3	尹伯彪	四川大学激光应用技术研究所	6	104	5.0	6.0
4	朱目成	四川大学激光应用技术研究所	6	92	5.0	6.0