大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性

• 作者: 张颖 李昕欣 焦继伟 熊斌 王惠泉 王跃林 金仲和 陈永
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 陀螺 微机械加工 噪声 滑膜阻尼
• 年，卷（期）: 2005,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 148-152
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 2105字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.01.030

摘要

设计了一种基于体微机械加工技术的新型音叉式微机械陀螺.该陀螺在驱动模态和检测模态的空气阻尼均为滑膜阻尼,有效提高了微机械陀螺的Q值和灵敏度,同时降低了陀螺的热机械噪声.对陀螺噪声特性进行的分析表明,该陀螺具有相对很低的热噪声.制作了陀螺芯片,并测试了其机械性能和噪声特性.结果表明,该陀螺的噪声谱密度不超过60μV/Hz,灵敏度为10mV/(°·s-1).该微机械陀螺有望实现较高的角速度分辨率.