ZnS/CuInS2/Mo/钠钙玻璃衬底上射频溅射ZnO:Al薄膜的SEM研究

• 作者: 刘小平 邵乐喜 黄惠良
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 铝掺杂氧化锌薄膜 射频溅射 扫描电镜 ZnS/CuInS2/Mo/钠钙玻璃衬底
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 页码范围: 49-51
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.2+1
• 字数: 1355字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.z1.014

摘要

结合ZnO薄膜在Cu-Ⅲ-Ⅵ2基薄膜太阳电池上的应用,采用射频磁控溅射技术以陶瓷ZnO:Al2O3为靶材在ZnS/CuInS2/Mo/钠钙玻璃衬底上于固定沉积条件下低温(200℃)制备了铝掺杂氧化锌(ZnO:Al)薄膜.运用扫描电子显微镜研究了底层材料特别是ZnS和CuInS2的生长参数对沉积的ZnO:Al薄膜的表面形貌的影响.实验发现,衬底材料中硫含量的增加(无论来自ZnS还是来自CuInS2),都会引起沉积ZnO:Al薄膜结晶质量的提高,而金属含量的增大将有利于薄膜均匀性的改进.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘小平	湛江师范学院信息科技学院	11	60	5.0	7.0
2	邵乐喜	湛江师范学院信息科技学院	22	106	6.0	9.0