利用扫描电镜Inlens探头观测择优取向的SrTiO3薄膜微观结构

• 作者: 张金芝 杨志敏
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电镜 Inlens探头 择优取向 钛酸锶薄膜
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 10-12
• 页数: 3页
• 分类号: TG115.21
• 字数: 2032字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6051.2005.09.003

摘要

择优取向的介电薄膜是介电材料研究中的热点.利用溶胶-凝胶法在金属和单晶基底上沉积了择优取向的钛酸锶介电薄膜,并利用扫描电镜Inlens探头对其微观结构进行了直接观测.Inlens探头对于样品表面原子层的信息非常敏感,对于导电性较差的薄膜,不需进行常规的喷金或喷碳处理,即可直接观测,大大提高了分析效率.利用二次电子像探头和Inlens探头分别对半导体性的SrTiO3薄膜的微观结构进行对比分析发现,Inlens探头的分辨率明显优于二次电子探头的.在20万倍的放大倍数下,仍能清晰观测到薄膜的表面和截面结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张金芝		3	7	1.0	2.0
2	杨志敏		21	61	4.0	6.0