晶体管红外热像图的热谱分析方法

• 作者: 卢烁今 张兴华 朱阳军 苗庆海
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 晶体管热谱 峰值结温 红外热像图 归一化面积
• 年，卷（期）: 2005,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1364-1368
• 页数: 5页
• 分类号: TN32
• 字数: 2275字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.07.015

摘要

使用自编的分析软件,根据比色法对所摄取的晶体管红外热像图进行了热谱分析,给出了晶体管发射区热谱和发射区一维温度分布曲线.一维温度分布曲线给出了整个发射区的结温分布情况,并可直接读取发射区的峰值结温和最低结温,还可以计算出平均结温.晶体管热谱是表示晶体管结温不均匀性的一种与热像图不同的新方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张兴华	山东大学物理与微电子学院	52	342	11.0	14.0
2	苗庆海	山东大学物理与微电子学院	14	69	6.0	7.0
3	朱阳军	山东大学物理与微电子学院	3	18	2.0	3.0
4	卢烁今	山东大学物理与微电子学院	5	28	3.0	5.0