Hg1-xCdxTe外延薄膜表面对红外透射光谱的影响

• 作者: 吴军 姬荣斌 孔金丞 张小雷 杨宇 马庆华
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 碲镉汞 外延层 红外透射光谱
• 年，卷（期）: 2005,（11）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 2102-2106
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.2+6
• 字数: 2845字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.11.011

摘要

利用傅里叶红外光谱仪测量液相外延生长的Hg1-xCdxTe薄膜,发现未经腐蚀的原生薄膜材料红外透射光谱经本征吸收后有吸收边倾斜并伴有透射比值偏低的现象.对红外透射光谱的影响因素进行了分析,用扫描电子显微镜、电子探针及轮廓仪对样品表面腐蚀前后进行测试,结果表明腐蚀前后Hg1-xCdxTe薄膜表面(深度约1μm)汞含量和表面平整度的差别是导致这一现象的主要原因.运用带-带尾态之间的跃迁理论及表面散射对这一现象进行了解释.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨宇	云南大学化学与材料工程学院	101	377	9.0	12.0
2	姬荣斌		50	200	7.0	10.0
3	孔金丞		26	70	4.0	6.0
4	吴军		11	22	3.0	4.0
5	马庆华		12	47	4.0	6.0
6	张小雷	云南大学化学与材料工程学院	1	3	1.0	1.0