利用液体桥力的微球转移操作

• 作者: 刘兵 汪家道 郭百巍 陈大融
• 来源期刊: 清华大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 微操作 粘着接触 液体桥力 微机电系统
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 精密仪器与机械学
• 页码范围: 647-650
• 页数: 4页
• 分类号: TP205
• 字数: 2903字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-0054.2005.05.018

摘要

为了克服粘着对微机电系统装配的影响,提出了一种利用液体桥力实现微球转移操作的方法.利用操作臂和微球之间的液体桥力实现微球的抓取,利用目标平面和微球之间的液体桥力实现微球的释放.对微球受力的理论分析表明,重力可以被忽略.由于干燥微球和粗糙平面之间的粘着力很小,抓取操作容易实现;释放操作要求操作臂末端的半径小,操作液体的界面能尽量低.使用该方法实现了一种微滚动导轨的装配,从而验证了该方法的可行性.