TiO2薄膜紫外探测器的光电特性

• 作者: 刘彩霞 吴凤清 张歆东 张爽 徐宝琨 甘勇 董玮 薛海林 邹博 陈维友
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: TiO2薄膜 紫外光电导探测器 MSM
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 795-797
• 页数: 3页
• 分类号: TN386.1
• 字数: 1466字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.04.032

摘要

采用溶胶-凝胶法(Sol-Gel),在Si衬底上生长了TiO2纳米薄膜,并用此材料制备了光电导型的TiO2薄膜紫外光探测器.通过测量探测器的光电流与照射光波长的关系,可以看出,TiO2探测器在紫外波段230～280nm有很明显的光响应,光电流谱线近乎平坦;在280nm处光响应出现明显下降,且跨度较大,直至360nm又再次趋于平坦.测量了250nm波长处的响应度和外加偏压的关系,发现响应度随外加偏压的增加而增加,5V时达到饱和.