采用多模输入/输出波导的多模干涉型SOI分束器

• 作者: 刘育梁 方青 李芳 贺月娇 辛红丽
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多模干涉 功率分束器 SOI 多模输入/输出波导
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 276-280
• 页数: 5页
• 分类号: TN256
• 字数: 1611字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2005.02.011

摘要

一个适用于光纤通信系统中的1×8多模干涉功率分束器被设计并通过ICP刻蚀方法成功研制.这种基于SOI材料的功率分束器是采用多模波导作为输入/输出波导;经过光束传播方法模拟,该器件显示出了优良的性能.测试结果表明,在1550nm波长处器件的传波损耗低于0.80dB,损耗均匀性为0.45dB,而且偏振相关损耗低于0.70dB.器件的尺寸只有2mm×10mm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李芳	中国科学研究院半导体研究所	156	1240	17.0	28.0
2	刘育梁	中国科学研究院半导体研究所	44	362	13.0	16.0
3	方青	中国科学研究院半导体研究所	8	14	3.0	3.0
4	贺月娇	中国科学研究院半导体研究所	4	13	2.0	3.0
5	辛红丽	中国科学研究院半导体研究所	5	25	3.0	5.0