电化学原子层外延及其新材料制备应用研究进展

• 作者: 侯杰 朱文 杨君友 郜鲜辉
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米超晶格 ECALE 欠电位沉积 原子层外延
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 新材料新技术
• 页码范围: 87-90
• 页数: 4页
• 分类号: TQ150.1
• 字数: 4762字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2005.09.025

摘要

电化学原子层外延(ECALE)是电化学沉积和原子层外延技术的结合,通过运用欠电势技术交替电化学沉积化合物的组成元素一次一个原子层而实现外延生长.详细介绍了电化学原子层外延(ECALE)的基本原理和特点,分析了影响ECALE过程的关键要素,并进一步介绍了它在新材料制备中的应用研究进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨君友	华中科技大学模具技术国家重点实验室	48	463	10.0	20.0
2	朱文	华中科技大学模具技术国家重点实验室	48	401	10.0	18.0
3	侯杰	华中科技大学模具技术国家重点实验室	14	89	7.0	8.0
4	郜鲜辉	华中科技大学模具技术国家重点实验室	9	33	4.0	5.0